主要零件材料
閥體、閥蓋、閥桿：鋁合金、碳鋼或不銹鋼
密封件：丁腈橡膠、氟橡膠、波紋管(軸封)。
主要性能指標
適用范圍：
1×10-6Pa～1.2×105Pa（波紋管密封）
1×10-5Pa～1.2×105Pa（氟膠圈密封）
打開時閥板上的壓差：
≤1.2×105 Pa任意方向
閥體和閥座漏率：≤1.3×10-7Pa·L·s-1
建議首次維修前循環次數： 200，000次
閥體烘烤溫度：≤150℃
安裝位置
-手動驅動：任意-氣動驅動：任意
-電磁驅動：任意（波紋管密封）；密封面朝向真空（氟膠圈密封）
電源
-氣動驅動：交流220V 50Hz，6W或直流24V，3W（特殊規格可定做）
-電磁驅動：交流220V或230V 50Hz，起動功率800W、保持功率8W
壓縮空氣（只適用于氣動）：0.4～0.7MPa
閥門開啟和關閉時間
-氣動驅動：≤1s
-電磁驅動：開啟≤0.1s；
關閉≤1s（氟膠圈密封）、關閉≤0.5s（波紋管密封）
閥門位置指示
-手動驅動：帶有啟閉位置指示
-氣動驅動：帶有啟閉位置指示開關（磁性開關）
-電磁驅動：帶有開啟位置指示燈 | 
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